空氣軸承定位平臺
針對先端半導體與面闆制程設備所開(kāi)發(fā)之奈米空氣軸承定位平臺。領(lǐng)先同業(yè)采用新型真空預壓低耗能氣浮軸承、動(dòng)態(tài)反作用力平衡與慣性補償技術(shù),可于千分之一秒內達到奈米誤差內要求,大幅減少運動(dòng)整定時(shí)間與組件磨耗率,提升設備生産力與可靠性。完整智能化遠程系統偵測與全球客服支持提供,幫助客戶(hù)大幅縮短設備開(kāi)發(fā)時(shí)程,節省許多整合時(shí)間與成本,使其更聚焦本身關(guān)鍵制程Know-how。